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激光干涉仪护航高端制造业

点击:725  添加时间:2016-10-24 11:06:00  信息来源:中国制造网

激光干涉仪护航高端制造业

  ?#21152;錚?#25105;国产业发展和升级使得微电子、微机械、光学和现代超精密加工工业对检测精度的要求越来越高,同时要求更大的检测量程,而其他检测方法难以胜任,只有激光干涉检测技术可以在大量程内达到较高的测量精度,所以在高端制造领域得到广泛应用。

  中图仪器推出的SJ6000激光干涉仪,采用进口高稳频氦氖激光器、双纵模?#20219;?#39057;技术、多参数环境补偿技术、高速数?#20013;?#21495;处理?#20302;?#31561;技术,通过与不同的光学组件结合,实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。?#20999;?#20934;数控机床、三坐标测量机及其它定位装置精度及线性指标最常用的标准仪器。

  1、在数控机床检定中的应用

  SJ6000激光干涉仪可用于精密机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度的测量,为机?#21442;?#24046;修正提供依据。软件内置10项常用机床检验标准。使用激光干涉仪检测机床各项误差并进行修正是传统测量手?#25991;?#20197;实现的技术,是大幅度提高数控机床的加工精度的关键措施。

  2、在三坐标检测中的应用

  SJ6000激光干涉仪搭配其镜组和辅件可检测三坐标测量机的位移精度、直线度、垂直度。随着当代制造业对加工速度的要求提升,三坐标测量机各结构件由于高速运行产生机构变形,导致的动态误差不可忽略。使用激光干涉仪对三坐标测量机进行静态误差、动态误差测量和补偿,对提升测量精度具有重要意义。

  3、在位移传感器中的应用

  利用激光干涉仪对位移传感器检定成为发展趋势,其特点是反应速度快、测量精度高,是位移传感器实现高精度校准的重要手段。

  4、与其他镜组配合的应用

  SJ6000激光干涉仪与不同光学组件结合,可以实现距离、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数的测量,具有极高的精?#32676;?#25928;率。

  SJ6000激光干涉仪技术参数:

  技术线?#22278;?#38271;精度:±0.5ppm(0~40℃)

  激光稳频精度:0.05ppm

  ?#30452;?#29575;:0.001um

                                      信息来源:深圳市中图仪器科?#21152;?#38480;公司

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